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光刻膠
襯底
顯影液
特殊材料
半導體材料 — 光刻膠
產品名稱
電子束光刻膠、寬帶厚膠、紫外光刻薄膠、納米壓印膠、聚酰亞胺光刻膠
數據參數
類型
光刻膠型號
適用光譜
厚度范圍/um
分辨率
適用工藝
紫外光刻膠-薄膠
S1800系列
g-Line, broad line
0.5-3.5
0.5um
正性光刻膠,穩定性好;適用于分辨率要求較高的光刻工藝
AZ5214
g/h/i-Line
1-2um
0.5um
反轉膠
BCI-3511
i-Line
0.5-2
0.5um
正性i線光刻膠,適用于各類接觸式光刻機(maskaligner),stepper
SPR955
i-Line
0.5-3.5
0.35um
正性i線光刻膠,適用于分辨率要求較高的濕法腐蝕和干法刻蝕
AZ 1500
g/h/i-Line
0.5-5
1um
正性光刻膠,廣泛應用于半導體制造
寬帶厚膠
SU-8 10系列
g/h/
i
-Line
0.1-200
0.5um
負性環氧類化學放大光刻膠,具有高深寬比,光刻后可以達到非常好的陡直度
.
導電SU-8(GCM3060)
1-50
負性環氧類光刻膠;可導電、粘合性較好,圖層應力降低
SPR220
g/h/i-Line
1—30
1um
正性光刻膠,用于
MEMS
和
Bump
工藝
NR26-25000P
g/h/i-Line
20-130
負性光刻膠,適用于各類接觸式光刻機(
mask aligner)、
stepper、scanner
AZ P4620
g/h/i-Line
6—20
1um
正性光刻膠
電子束光刻膠
HSQXR-1541-006
EB
85nm~180nm
6nm
極佳分辨率負膠,抗刻蝕
Z520
0.05-1
10-50nm
高分辨率電子束正膠
,
抗刻蝕
PMMA
電子束正膠
EBL 6000
系列
0.1-0.5
50nm
負性
電子束光刻膠
ma-N2400
系列
0.1-1.5
30nm
負性電子束光刻膠
納米壓印膠
mr-NIL 6000E
熱固化和
UV
固化
0.1-1
50nm
可用于納米圖形的制造、刻蝕、多層系統等
mr-I 9000M
熱固化
0.1-1
50nm
mr-UVCur21
UV
固化
0.1-5
50nm
光固化膠
Ormo
系列
g/h/i-Line
0.1-300
50nm
適用于制造光柵、微型鏡片、光耦合器和連接器等